正笙科技股份有限公司 Zheng Sheng Hi-Tech Co., Ltd.
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對應 Panel 與 Wafer type EFEM,可提供先進半導體傳送平台(TM&EFEM) 的機構設計、EFEM 設計,結合控制程式與 SECS/GEM 技術服務。
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